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　　新機(jī)床到廠安裝后，因運(yùn)輸過(guò)程中的顛簸及環(huán)境溫度差異等原因，會(huì)造成機(jī)床位置精度變化，產(chǎn)生新的定位誤差。因此新機(jī)床經(jīng)安裝調(diào)試后須使用激光干涉儀對(duì)其位置精度進(jìn)行檢測(cè)評(píng)定，必要時(shí)進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償，以修正誤差值，達(dá)到機(jī)床驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，保證機(jī)床加工精度要求。

　　

　　干涉儀所用激光的波長(zhǎng)為633nm，且其長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性（在真空中）高于0.05ppm，是可對(duì)數(shù)控備（加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測(cè)量的儀器。

　　

　　以新進(jìn)設(shè)備數(shù)控緩磨為例，其控制系統(tǒng)為SIEMENS840DSL，被測(cè)軸以X軸為例，檢測(cè)目的是驗(yàn)收檢測(cè)，檢測(cè)項(xiàng)目為位置精度檢測(cè)。

　　

　　1、機(jī)床開(kāi)機(jī)回零后，運(yùn)行熱機(jī)程序預(yù)熱15min。

　　

　　2、將激光干涉儀按布置連線圖進(jìn)行安裝連接，開(kāi)啟XL-80激光電源，預(yù)熱約5min。

　　

　　3、使用光靶快速準(zhǔn)直光束。沿運(yùn)動(dòng)軸方向?qū)⒐ぷ髋_(tái)推離激光頭，直到光束開(kāi)始移開(kāi)光靶。當(dāng)只有一半的光束擊中白點(diǎn)時(shí)停止移動(dòng)機(jī)床。

　　

　　4、編制測(cè)量運(yùn)行程序。設(shè)置機(jī)床工件坐標(biāo)系G59：X0Y0Z0，使之與機(jī)床機(jī)械坐標(biāo)系一致；依據(jù)機(jī)床X軸實(shí)際測(cè)量參數(shù)。

　　

　　5、設(shè)置激光干涉儀線性測(cè)長(zhǎng)軟件。進(jìn)入測(cè)量向?qū)?，依次完成目?biāo)設(shè)定、采集數(shù)據(jù)啟動(dòng)、標(biāo)題信息、自動(dòng)采集數(shù)據(jù)設(shè)定4個(gè)窗口的設(shè)置。其中在自動(dòng)采集數(shù)據(jù)設(shè)定中的公差窗口及越程量大小設(shè)置，依據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，設(shè)定為機(jī)床實(shí)際越程的1/2，即公差窗口：0.5mm，越程量大?。?.5mm。如兩參數(shù)大于等于實(shí)際越程值，可能造成軟件采集錯(cuò)誤數(shù)據(jù)或無(wú)法采集。

　　

　　完成上述設(shè)置后，進(jìn)入測(cè)量界面，先試運(yùn)行機(jī)床，判斷數(shù)據(jù)方向，由于起點(diǎn)不為零，需先使用將數(shù)據(jù)手動(dòng)定義到起點(diǎn)100，啟動(dòng)機(jī)床檢測(cè)程序，進(jìn)行自動(dòng)采集數(shù)據(jù)。